SEM掃描電鏡 場發射掃描電子顯微鏡 場發射電鏡SU5000
詳細說明
特點
高性能電子光學系統
二次電子分辨率: 頂位二次電子探測器(2.0 nm at 1kV)＊
高靈敏度: 高效PD-BSD, 超強的低加速電壓性能，低至100 V成像
大束流(>200 nA): 便于高效微區分析
性能優異
壓力可變: 具有優異的低真空(10 -300 Pa)成像性能，配備高靈敏度低真空探測器(UVD)＊
開倉室快速簡單換樣(最大樣品尺寸: Φ 200 mm x 80 mmH)
微區分析: EDS, WDS, EBSD等等
規格
- *1：
- 減速功能（包含高分辨率頂位二次電子探測器）
- *2：
- 低真空功能（包含5分割半導體探測器）
- *3：
- 空壓機(本地采購)
關閉返回